| 開催日時 |
2025/03/13
(木)
13:00～
16:30
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| 申込み期間 |
2025/02/03
～ 2025/03/12
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| 主催会社 |
株式会社 技術情報協会
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| 定員 |
30名
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| 受講料 |
49,500円 (税込／各種割引については下段「お知らせ」欄をご参照ください） |
| 開講場所 |
・会場名： ZOOMを利用したLive配信
・住所： ※会場での講義は行いません
・交通アクセス：
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| 講師 |
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白鳥 （英）
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東京都市大学 機械システム工学科 教授 博士(工学)
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カリキュラム、
プログラム |
【講座趣旨】
微細加工プロセスや各種フィルター・保護膜等の作製工程において、液膜の塗布・乾燥プロセスが欠かせないが、その過程で種々の膜厚ムラが発生する。これらの膜厚ムラは、作製する膜の用途によっては製品の寸法精度などの品質に直結する場合があり、これらのムラを回避・抑制する方策が望まれる。 このセミナーでは、主要な塗布方法であるスピンコート法と加熱乾燥を対象に、代表的な膜厚ムラとして １）基板端部に生じる隆起、２）基板全面に渡って生じる放射状スジムラに注目して、その形成メカニズムと回避・抑制指針について実験的な観察と理論・数値シミュレーションの両面から解説する。
１．塗布乾燥工程の概要
1.1 関連する産業分野と塗布方式
1.2 関与する物理現象、種々の膜厚ムラ
２．液膜内の熱流動に関する物理
2.1 液膜流れ
1) 表面張力と重力の影響
2) 遠心力の影響
3) マランゴニ効果
4) 液膜に生じた膜厚不均一の緩和挙動
2.2 熱物質輸送
1) 加熱乾燥と熱伝導
2) 樹脂と溶媒の相互拡散
3) 溶媒の蒸発特性
３．各種膜厚ムラの形成過程と回避・抑制指針
3.1 基板端部の隆起
1) 発生するムラの特徴：実験的な観察結果から
2) 何が起きているのか：背景物理の理解と数値シミュレーション
3) 対策方針
3.2 放射状スジムラ
1) 発生するムラの特徴：実験的な観察結果から
2) 何が起きているのか：背景物理の理解と数値シミュレーション
3) 対策方針
４．膜厚ムラの分析方法
4.1 膜厚ムラの観察方法
1) 干渉光学系による膜厚の測定
4.2 数値シミュレーション方法
1) 塗布・乾燥プロセスに関与する物性値の種類
2) 液膜流れの性質を生かした、効率的な計算方法
3) 機械学習を用いた液膜流れの計算方法
【質疑応答】
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| 特典 |
セミナー資料付
各講で最後に質疑応答時間あり。
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セミナー参加費
支払い方法 |
1. 銀行振込または現金書留にてお願いいたします。
2. 原則として開催日までにお願い致します。
3. 銀行振込の場合は、原則として領収証の発行は致しません。
4. 振り込み手数料はご負担ください。 |
| お知らせ |
●各種割引について
1. 同一テーマ1社2名以上同時申込の場合のみ、1名につき5,500円（税込）割引いたします。
2. 大学（教員、学生）、公的機関、医療機関の方は、「アカデミック価格」33,000円/1名（税込）でご参加いただけます。（2名同時申込割引は適用されません）
割引適用の場合は、お申し込み後、技術情報協会より確認のご連絡を差し上げます。
※申し込み人数が開催人数に満たない場合など，状況により中止させて頂く事が御座います。
●Live配信セミナーの受講について
・ セミナー配布資料は印刷物を郵送いたします。
・ 本講座で使用される資料や配信動画は著作物であり、録音・録画・複写・転載・配布・上映・販売等を禁止いたします。
・ 本講座はお申し込みいただいた方のみ受講いただけます。複数端末から同時に視聴することや複数人での視聴は禁止いたします。
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