半導体洗浄のクリーン化技術のノウハウ【LIVE配信】

株式会社R&D支援センター河合晃氏 49,500円

半導体デバイスは現在の科学および産業に多大な貢献をしています。また、その高機能化の進歩は極めて速く、多くの基盤技術が創生されています。

その中でも、半導体基板のクリーン化技術は、製品歩留まりに直結しているため、重要なキーテクノロジーの１つとして位置づけられています。

本セミナーでは、長年、講師がスーパークリーンルーム内で先端製品の開発製造に携わった経験から、ユーザー視点における半導体洗浄やクリーン化技術の要点とノウハウを丁寧に解説します。

特に、半導体、有機・無機・金属等の微小欠陥の性質や、これらの付着除去・管理・計測方法、および固体表面と固液界面の性質等について解説します。

本講座を通じて、基礎から学んでいただけます。また、受講者が抱えている日頃の研究開発および現場トラブルに関する相談にも個別に対応します。

このセミナーを受講すると、こんなスキルが身につきます

習得できる知識

半導体デバイス製造におけるクリーン化技術の基礎、および製品の歩留まり向上や品質改善および技術開発における基盤技術を習得できます。また、製造プロセスや装置機構により、クリーン化を促進できるとともに、各種ノウハウを習得できます。

セミナーの対象者はこんな方です

電子デバイスおよびクリーン化に関わる技術者

会場

講師

プログラム

特典

お知らせ

開催日時

2025/02/07 (金) 13:00～ 16:30

他の開催日・開催場所（同じ都道府県内）で探す

申込み期間

～ 2025/02/06

主催会社

株式会社R&D支援センター

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定員

30名

受講料

49,500円

開講場所

・会場名：　本セミナーはZOOMを使ったLIVE配信セミナーです
・住所：　※会社やご自宅でご受講下さい。　
・交通アクセス：　会場での参加はございません。

講師

河合晃氏: アドヒージョン（株）代表取締役社長
国立大学法人　長岡技術科学大学　名誉教授
博士（工学）

三菱電機（株）ULSI研究所にて10年間勤務し、スーパークリーンルーム内で、製品開発・試作・量産移管・歩留り・工場管理の業務に従事し、高精度な電子デバイス技術開発に従事した。その後、長岡技術科学大学にて勤務し、機能性薄膜、表面界面制御、ナノデバイス、クリーン化技術などの先端分野の研究を実施してきた。各種論文査読委員、NEDO技術委員、国および公的プロジェクト審査員などを歴任。現在、技術コンサルティング会社として、アドヒージョン（株）代表取締役社長を務める。著書39件、原著論文166報、国際学会124件、国内学会212件、特許多数、受賞多数、講演会270回以上、日本接着学会評議員、応用物理学会会員、産学連携・技術コンサルティング実績350件以上。

カリキュラム、
プログラム

プログラム

１．洗浄技術と半導体デバイス
　　1-1　基本洗浄方式（ウェット、ドライ、物理除去）
　　1-2　半導体デバイス構造と洗浄技術（半導体／絶縁層）
　　1-3　歩留まりと欠陥（致命欠陥とは、Open/Short試験）

２．洗浄の基本メカニズム（付着・脱離）
　　2-1　相互作用因子（粒子間の引力とは、Hamaker定数、Derjaguin近似）
　　2-2　ファイン粒子の性質（Hertz理論、JKR理論、DMT理論、液架橋力）
　　2-3　DPAT技術（AFMによる剥離力の直接測定）
　　2-4　液体ラプラス力（液膜による凝集力、表面張力、毛管凝縮）
　　2-5　溶液中の粒子付着と除去（DLVO理論）
　　2-6　ゼータ電位と分散凝集制御（溶液中の帯電、上昇沈降速度、粒径分布）
　　2-7　表面エネルギーと洗浄（分散・極性成分、付着エネルギーWa解析）
　　2-8　界面への洗浄液の浸透機構（拡張濡れエネルギーS、円モデル、気泡制御）

３．有効な付着物の除去方法とは？（徹底的に除去するには）
　　3-1　超純水（機能水、帯電防止、腐食防止）
　　3-2　RCA洗浄（重金属除去、酸化還元電位）
　　3-3　金属イオンの腐食溶解（ポテンシャル－ｐH電位図）
　　3-4　溶解除去（溶解度パラメータ、SP値、HSP値）
　　3-5　マイクロ気泡の脱離（溶存酸素、低表面張力液体による除去）
　　3-6　超音波洗浄（異物除去、再付着防止）
　　3-7　乾燥痕対策（液内対流、ＩＰＡ・スピン乾燥）
　　3-8　プラズマ処理（電子温度、有機物分解と物理スパッタ）
　　3-9　ブラシスクラバー（機械的除去）
　　3-10 エッジバックリンスEBR（ウェハ裏面と端面の洗浄技術）

４．効率的なクリーン化技術とは（クリーンルーム運営）
　　4-1　花粉、PM2.5、バクテリア、マイクロビーズ（永久浮遊性塵埃）
　　4-2　フィルター技術（フィルタリングの基礎、無塵紙）
　　4-3　単分子有機汚染（保管中のクリーンネスとは）
　　4-4　パーティクルカウンター（気中浮遊粒子）
　　4-5　動線のコントロール（安全性と作業の効率化）

５．質疑応答
　（日頃の疑問、トラブル、解析・技術開発相談に個別に応じます）

６．参考資料
　　表面エネルギーによる濡れ・付着性解析（測定方法）

【Zoomを使ったWEB配信セミナー受講の手順】

１．Zoomを使用されたことがない方は、ミーティング用Zoomクライアントをダウンロードして下さい。ダウンロードできない方はブラウザ版でも受講可能です。

２．セミナー前日までに必ず動作確認をお願いします。セミナー開始直前のトラブルについては対応いたしかねますのでご了承下さい。

３．開催日の数日前にWEBセミナーへの招待メールをお送りいたします。当日のセミナー開始10分前までに招待メールに記載されている視聴用URLよりWEB配信セミナーにご参加下さい。

セミナー参加費
支払い方法

銀行振込か会場にて現金でお支払いください。

銀行振込みの場合、原則的に領収書は発行いたしません。

領収書をご希望の場合は、当日会場で受講料をお支払いください。

クレジットカードはご利用いただけません。

お知らせ

・資料付【PDFにて配布いたします】

・セミナー資料は開催前日までにお送りいたします。

★2名同時申込で両名とも会員登録をしていただいた場合、計49,500円（2人目無料）です。

・キャンセルについて
原則としてキャンセルはお受けいたしかねます。
ご都合により出席できなくなった場合は代理の方がご出席ください。

代理の方が見つけられない場合、セミナー開催日より、
営業日で8日前までに限りキャンセルを承ります。
8日を過ぎますと欠席扱いとし、受講料の全額をお支払いいただきます。
ご欠席の場合は後日、セミナーで使用したテキストをお送りいたします。