半導体製造における洗浄技術・装置の最新動向と今後の展望【LIVE配信】

株式会社R&D支援センター白水好美氏他 55,000円

＜第1部＞
半導体製造において、各種汚染は歩留低下を引き起こします。序論として汚染が半導体デバイスにおよぼす影響を示します。
それを踏まえて、半導体洗浄に関して説明します。
従来の洗浄から最近の洗浄、目的別洗浄について詳細を説明します。
洗浄以外の汚染制御技術に関して紹介します。
最後に次世代の汚染制御の問題点と洗浄乾燥技術について解説します。

＜第2部＞
活況を呈する半導体業界において、半導体製造装置産業は大きな役割を担っています。
半導体業界における製造装置メーカーの位置づけ、その中で洗浄装置の役割を確認します。
その上で半導体洗浄の装置種類や薬液種類に関する基礎的な内容を詳しく説明し、洗浄対象物や洗浄原理についても解説します。
今後ますます複雑化すると予想される半導体製造工程において、洗浄プロセスに求められる技術の概要や最新の開発状況にも触れていきます。
また、今回「洗浄」だけでなく「乾燥」にも焦点を当て、その課題や技術トレンドについて紹介する予定です。

このセミナーを受講すると、こんなスキルが身につきます

習得できる知識

＜第1部＞
・半導体製造における汚染制御と歩留改善に洗浄技術が重要であることが理解できる。
・最新の洗浄液技術を習得できます。

＜第2部＞
•半導体装置市場における洗浄装置の位置づけ
•半導体製造工程における洗浄プロセスの役割とその重要性
•半導体洗浄プロセスや洗浄方法の種類や特徴についての知識
•デバイス構造の変化に伴い洗浄プロセスに求められる技術とその開発動向

会場

講師

プログラム

特典

お知らせ

開催日時

2024/10/10 (木) 10:30～ 16:15

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申込み期間

～ 2024/10/09

主催会社

株式会社R&D支援センター

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定員

30名

受講料

55,000円

開講場所

・会場名：　本セミナーはZOOMを使ったLIVE配信セミナーです
・住所：　【WEB限定セミナー】 ※会社やご自宅でご受講下さい。　
・交通アクセス：　ご自宅や職場のノートPCで受講できます。

講師

白水好美氏: 第1講：　オフィスシラミズ室長

【専門】
半導体洗浄、クリーン化、微量分析技術、歩留改善
【経歴】
1983年 4月-1991年　　富士通
1991年10月-2013年 9月日本電気-NECエレクトロニクスｰルネサスエレクトロニクス
2013年11月-2015年12月　Samsung electronics　常務待遇

宮城雅宏氏: 第2講：　(株)SCREENセミコンダクターソリューションズ洗浄要素開発統轄部
　　　　　洗浄技術開発部洗浄技術開発一課

カリキュラム、
プログラム

第１部　半導体デバイスにおける洗浄技術の基礎と技術動向と今後の課題　(白水氏)

１．序論－汚染が半導体デバイスに与える影響
　1.1 クリーン化の重要性
　1.2　金属汚染(Fe, Cu等)およびナノパーティクル
　1.3　分子汚染(NH3, アミン, 有機物, 酸性成分)
　1.4　各種汚染の分析解析方法及びモニタリング技術

２．洗浄技術
　2.1　RCA洗浄
　2.2　各種洗浄液と洗浄メカニズム-薬液系洗浄　vs. 純水系洗浄
　2.3　洗浄プロセスの動向
　2.4　乾燥技術
　2.5　最先端の洗浄技術とその問題点

３．その他の汚染制御技術
　3.1　工場設計
　3.2　ウェーハ保管、移送方法

４．次世代の汚染制御の問題点と今後の課題
　4.1　新洗浄乾燥技術(SCCO2洗浄乾燥, PK剤乾燥)
　4.2　次世代の洗浄、汚染制御の問題点と今後の課題

第２部　半導体洗浄プロセス・技術・装置の最新開発動向　(宮城氏)

１．はじめに

２．半導体製造装置市場の動向と洗浄装置の位置づけ

３．洗浄装置に求められる技術課題

４．最新半導体洗浄装置開発の紹介

【Zoomを使ったWEB配信セミナー受講の手順】

１．Zoomを使用されたことがない方は、ミーティング用Zoomクライアントをダウンロードして下さい。ダウンロードできない方はブラウザ版でも受講可能です。

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３．開催日の数日前にWEBセミナーへの招待メールをお送りいたします。当日のセミナー開始10分前までに招待メールに記載されている視聴用URLよりWEB配信セミナーにご参加下さい。

セミナー参加費
支払い方法

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銀行振込みの場合、原則的に領収書は発行いたしません。

領収書をご希望の場合は、当日会場で受講料をお支払いください。

クレジットカードはご利用いただけません。

お知らせ

・資料付

・セミナー資料は開催前日までにお送りいたします。

・2名同時申込で両名とも会員登録をしていただいた場合、計55,000円（2人目無料）です。

持参物

受講にはWindowsPCを推奨しております。
タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。

・キャンセルについて
原則としてキャンセルはお受けいたしかねます。
ご都合により出席できなくなった場合は代理の方がご出席ください。

代理の方が見つけられない場合、セミナー開催日より、
営業日で8日前までに限りキャンセルを承ります。
8日を過ぎますと欠席扱いとし、受講料の全額をお支払いいただきます。
ご欠席の場合は後日、セミナーで使用したテキストをお送りいたします。