ナノインプリントのメカニズムと欠陥対策、半導体デバイスへの適用

株式会社　技術情報協会平井義彦氏他 55,000円

★　表面自由エネルギーと離型性の関係について詳解します！
★　半導体の微細化、集積化へ向けて！　ナノインプリントの役割、現状、将来性は？

会場

講師

プログラム

特典

お知らせ

開催日時

2024/10/31 (木) 10:30～ 16:15 （受付 10:00 ～ )

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申込み期間

2024/09/02 ～ 2024/10/30

主催会社

株式会社　技術情報協会

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定員

定員数の上限はございません

受講料

55,000円 (税込／各種割引については下段「お知らせ」欄をご参照ください）

開講場所

・会場名：　Zoomを利用したLive配信
・住所：　※会場での講義は行いません。　
・交通アクセス：　

講師

平井義彦氏: 大阪公立大学　大学院工学研究科　特任研究員　博士（工学）

藤森亨氏: 富士フイルム(株)　エレクトロニクスマテリアルズ開発センター　シニアエキスパート
【略歴】
・MNC(International Microprocesses and Nanotechnology Conference)　プログラムコミッティ・セクションヘッド
・JJAP論文審査官、ACS論文審査官、各種学会での招待講演

カリキュラム、
プログラム

【10:30-14:30】　※途中、お昼休憩含む
１．熱・光ナノインプリント法による微細加工と半導体デバイスへの適用

大阪公立大学　平井義彦氏

１．ナノインプリントの半導体応用
　1.1　ナノインプリントとは
　1.2　ナノインプリントの特徴と応用領域

２．熱ナノインプリント,ダイレクトナノインプリントのメカニズムと欠陥対策
　2.1　熱、ダイレクトナノインプリントの原理
　2.2　形状
　　　・膜厚依存性と欠陥
　　　・高アスペクト比構造
　　　・レンズ構造における欠陥例とその解消
　2.3　高圧プレス下での欠陥と面内均一性
　2.4　分レベルの挙動と限界解像性

３．UV (光) ナノインプリントのメカニズムと欠陥対策
　3.1　レジスト充填プロセスとバブル欠陥と対策
　3.2　UV照射プロセスと回折・干渉による欠陥と対策
　3.3　UV硬化プロセスと欠陥と対策
　3.4　分子レベルの流動性と硬化特性

４．離型の原理と欠陥対策
　4.1　破壊力学による離型の原理
　4.2　化学的手法による欠陥対策
　4.3　機械的手法による欠陥対策
　4.4　AR/VR用傾斜回折格子における離型欠陥の発生とその抑制
　4.5　離型の分子レベルの挙動

５．今後の展開と期待
　5.1　半導体チップレット技術 (再配線プロセス) への展開
　5.2　フラットレンズ、AR/VRグラスへの応用
　5.3　カーボンニュートラルへの取り組み
　5.4　人工知能利用によるプロセス・材料設計

【質疑応答】
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【14:45-16:15】
２．EUVレジストおよびナノインプリントレジストの開発と今後の展望

富士フイルム(株)　藤森亨氏

１．昨今のプレスリリースから紐解く
　1.1　ナノインプリントリソグラフィの半導体分野への適用状況
　1.2　富士フイルム、キヤノン、キオクシア、DNP

２．私たちの世の中を取り巻く環境
　2.1　エッヂAI、半導体に関する国プロジェクト（Rapidus/LSTC）解説、など
　2.2　富士フイルムのエレクトロニクスマテリアルズへの取り組み
　　
３．リソグラフィの歴史
　3.1　パターン微細化と露光波長、次世代リソグラフィの歴史

４．EUVレジスト　課題と解決の例
　4.1　EUVリソグラフィの必要性と難しさ

５．ナノインプリントレジスト
　5.1　なぜに、ナノインプリント？どこまできた？

【質疑応答】

特典

セミナー資料付
各講で最後に質疑応答時間あり。

セミナー参加費
支払い方法

1. 銀行振込または現金書留にてお願いいたします。

2. 原則として開催日までにお願い致します。

3. 銀行振込の場合は、原則として領収証の発行は致しません。

4. 振り込み手数料はご負担ください。

お知らせ

●各種割引について
1. 同一テーマ1社2名以上同時申込の場合のみ、1名につき5,500円（税込）割引いたします。
2. 大学（教員、学生）、公的機関、医療機関の方は、「アカデミック価格」33,000円/1名（税込）でご参加いただけます。（2名同時申込割引は適用されません）

※申し込み人数が開催人数に満たない場合など，状況により中止させて頂く事が御座います。

●Live配信セミナーの受講について
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・開催日が近くなりましたら、視聴用のURLとパスワードをメールにてご連絡申し上げます。
・セミナー配布資料は印刷物を郵送いたします。
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・本講座はお申し込みいただいた方のみ受講いただけます。複数端末から同時に視聴することや複数人での視聴は禁止いたします。
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