EUVレジストの高感度化、感度測定とメタルレジストの反応機構【Live配信セミナー】

株式会社　技術情報協会工藤宏人氏 &nbs... 60,500円

★EUVレジスト特有の問題点や要求特性、注目を集めるメタルレジストの開発状況！

このセミナーを受講すると、こんなスキルが身につきます

【第1部】
・EUV用レジストシステムの今後の動向が理解できる
・EUV用レジスト材料の問題点について把握する。
・EUV用レジスト材料の分子設計方法について理解する。
・EUV用レジスト材料の開発の方向性について理解する。

【第2部】
・EUVレジストの感度測定方法
・EUVレジストのアウトガス分析手法
・EUVレジストのX線吸収分光分析手法

【第3部】
・メタルレジストがなぜ重要か
・メタルレジストの基本構造
・メタルレジストのEUV露光による反応機構
・メタルレジストの大気安定性

会場

講師

プログラム

特典

お知らせ

開催日時

2025/03/06 (木) 10:30～ 16:15

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申込み期間

～ 2025/03/05

主催会社

株式会社　技術情報協会

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定員

30名

受講料

60,500円 (各種割引については下段「お知らせ」欄をご参照ください）

開講場所

ZOOMを利用したLive配信
会場での講義は行いません　

講師

工藤宏人氏: 関西大学　化学生命工学部　化学・物質工学科　教授

山川進二氏: 兵庫県立大学　高度産業科学技術研究所　准教授

山下良之氏: (国研)物質・材料研究機構　電子・光機能材料研究センター　主幹研究員

カリキュラム、
プログラム

＜１０：３０～１２：００＞
１．EUVレジスト材料の要求特性と高感度化技術

関西大学　工藤宏人氏

フォトレジスト材料の開発は、G線、i線、KrFおよびArFエキシマーレーザーと、露光システムの変遷により、そのレジスト材料の骨格を変化させ、露光システムに対応したレジスト材料が開発されてきた。2017年より極端紫外線(EUV)露光システムが実用化されている。しかしながら、EUV露光システムの能力を十分に引き出せるレジスト材料の開発が必要とされ続けている。本テーマでは、これまで開発されてきたレジスト材料の基本的な構造を紹介しながら、レジスト材料の合成方法について、基本的な合成方法から最新の合成例について解説する。さらに、分子レジストや化学増幅型レジストの原理や合成方法について解説し、ＥＵＶ用レジスト材料の研究開発例を紹介し、それらの問題点、および今後の分子設計方法について解説する。

１．EUV用レジストシステム
　1.1 ムーアの法則とEUV用レジストシステム
　1.2 EUVレジストシステムの開発の動向
　1.3 EUV用レジスト材料の開発の必要性について
　1.4 EUV用レジスト材料に求められる特性

２．EUV用レジスト材料
　2.1 ポジ型EUV用レジスト材料（化学増幅型EUV用レジスト材料）
　2.2 ネガ型EUV用レジスト材料（非化学増幅型EUV用レジスト材料）
　2.3 メタルEUV用レジスト材料

３．EUV用レジスト材料の開発例
　3.1 高感度型EUVレジスト材料
　3.2 EUV用レジスト材料の今後の課題

＜１３：００～１４：３０＞
２．EUVレジストの現像特性評価と化学解析

兵庫県立大学　山川進二氏

EUVレジストは従来の紫外線領域までのレジストと違い、ショットノイズや2次電子の影響などEUV特有の特徴がある。そのため、紫外線や電子線による代替測定だけでなく、実際のEUV照射による感度測定が必要である。本講座では感度測定手法と、それによって何がわかるのかを解説する。また、EUVレジストは50 nm程度以下の薄膜での使用が基本となっており、EUV照射後に回収できるサンプルが少なく、溶液分析が困難である。固体状態での分析方法として、EUV照射時のアウトガス分析や、X線による吸収分光分析手法があり、それらも解説する。

１．分析におけるEUVレジストの特徴
　1.1 EUVと2次電子
　1.2 EUVレジストと膜厚

２．EUVレジストの現像特性評価
　2.1 ポジ型レジスト
　2.2 ネガ型レジスト
　2.3 コントラストカーブからわかること
　2.4 EUV干渉露光

３．EUVレジストの化学解析
　3.1 EUV照射前後の分析
　　3.1.1 アウトガス分析
　　3.1.2 X線吸収分光分析
　3.2 EUVレジストの化学組成分布評価

＜１４：４５～１６：１５＞
３．メタルレジストの特徴とEUV露光による反応メカニズム

(国研)物質・材料研究機構　山下良之氏

レジストの歴史歴背景、メタルレジストの重要性、メタルレジストの作製方法およびメタルレジストのEUVによる反応機構、メタルレジストの大気安定性を紹介する。メタルレジストの反応機構を明らかにする分析手法に関しても紹介する

１．レジスト
　1.1 レジストの歴史
　1.2 レジストの歴史的背景
　1.3 リソグラフィのスケーリング則
　1.4 ムアーの法則以降のデバイス構造
　1.5 メタルレジストの重要性

２．メタルレジスト
　2.1 EUV光吸収率の元素依存性
　2.2 メタルレジストの種類
　2.3 メタルレジストの作製方法
　2.4 メタルレジストの構造
　2.5 メタルレジストのEUV露光後の構造
　2.6 各社が開発したメタルレジスト

３．メタルレジストEUV露光による反応機構及び大気安定性の解析
　3.1 XRDによるEUV露光による構造変化解明
　3.2 光電子分光によるEUV露光による反応元素解明
　3.3 放射光X線吸収分光法を用いてEUV露光による反応化学結合解明
　3.4 メタルレジストの大気安定性解析

特典

セミナー資料付、各講最後に質疑応答時間あり。

セミナー参加費
支払い方法

1. 銀行振込または現金書留にてお願いいたします。

2. 原則として開催日までにお願い致します。

3. 銀行振込の場合は、原則として領収証の発行は致しません。

4. 振り込み手数料はご負担ください。

お知らせ

●各種割引について
1. 同一テーマ1社2名以上同時申込の場合のみ、1名につき5,500円（税込）割引いたします。
2. 大学（教員、学生）、公的機関、医療機関の方は、「アカデミック価格」33,000円/1名（税込）でご参加いただけます。（2名同時申込割引は適用されません）
割引適用の場合は、お申し込み後、技術情報協会より確認のご連絡を差し上げます。

●Live配信セミナーの受講について
・ Zoom公式サイトで視聴環境を確認の上、お申し込みください。
・開催日が近くなりましたら、視聴用のURLとパスワードをメールにてご連絡申し上げます。
・セミナー配布資料は印刷物を郵送いたします。
・本講座で使用される資料や配信動画は著作物であり、録音・録画・複写・転載・配布・上映・販売等を禁止いたします。
・本講座はお申し込みいただいた方のみ受講いただけます。複数端末から同時に視聴することや複数人での視聴は禁止いたします。
・ Zoomのグループにパスワードを設定しています。部外者の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。