半導体製造用薬液の不純物対策 -フィルタ／イオン交換樹脂の使い方、微量金属分析-

株式会社　技術情報協会三浦こずえ氏 &nbs... 66,000円

★ 微量金属不純物、パーティクルを徹底的に除去するために！

会場

講師

プログラム

特典

お知らせ

開催日時

2025/01/20 (月) 10:00～ 17:00 （受付 09:30 ～ )

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申込み期間

～ 2025/01/17

主催会社

株式会社　技術情報協会

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定員

30名

受講料

66,000円 (税込／各種割引については下段「お知らせ」欄をご参照ください）

開講場所

Zoomを利用したLive配信
※会場での講義は行いません　　

講師

三浦こずえ氏

清水由貴氏

出水丈志氏

川端克彦氏

カリキュラム、
プログラム

【10:00-11:30】
１．半導体製造プロセスにおける濾過、分離
日本インテグリス(同)　三浦こずえ氏

【講座の趣旨】
近年半導体製造プロセスの微細化に伴い、薬液中の不純物除去は大きな課題となっている。本講座では半導体製造プロセスにおける不純物除去の基礎と三種類のフィルタの役割と効果についてご紹介する。

１．薬液中に存在する汚染物質
　1.1 薬液中における汚染物質の種類
　1.2 汚染物質の由来
　1.3 汚染物質の及ぼす影響
２．フィルタの基礎
　2.1 ろ過膜の定義と種類
　2.2 薬液用フィルタの材質と適合性
　2.3 薬液用フィルタの種類と役割
３．シービングフィルタについて
　3.1 シービングフィルタとは？
　3.2 粒子除去性能の評価方法
　3.3 粒子除去の具体例
４．ノンシービングフィルタについて
　4.1 ノンシービングフィルタとは？
　4.2 吸着性能の評価方法
　4.3 吸着効果の具体例
５．金属除去フィルタについて
　5.1 金属除去フィルタとは？
　5.2 薬液中におけるイオン性物質の挙動
　5.3 金属除去フィルタの性能評価方法
　5.4 金属除去の具体例

【12:10-13:40】
２．イオン交換樹脂の種類、特徴と半導体向け超純水精製への応用
三菱ケミカル　清水由貴氏

【講座の趣旨】
半導体製造工程では、薬品を利用したエッチングや洗浄が必須の工程である。このエッチング・洗浄に使われる薬品の希釈、また薬液を除去するリンスにおいては、不純物を極限まで除去した超純水が必須である。今回は、イオン交換樹脂を用いた水中の金属・イオン成分除去技術について紹介する。

１．イオン交換樹脂の種類と特徴
　1.1 イオン交換樹脂の基本構造
　1.2 イオン交換樹脂の種類と分類
２．イオン交換樹脂による金属・イオン除去
　2.1 イオン交換樹脂による金属・イオン吸着のメカニズム
　2.2 イオン交換樹脂による金属・イオン除去

【13:50-15:20】
３．イオン交換樹脂による金属イオンの捕集とその半導体製造プロセスへの応用
室町ケミカル(株)　出水丈志氏

【講座の趣旨】
イオン交換樹脂の諸特性の意味について解説すると共に、液体中に含まれる金属イオンの吸着と、半導体製造プロセスに必要な超純水製造におけるイオン交換樹脂の役割について解説します。

１．はじめに
　1.1 イオン交換樹脂の解説
　1.2 イオン交換樹脂の用途
２．イオン交換樹脂による金属吸着
　2.1 イオン交換樹脂・キレート樹脂の種類
　2.2 イオン交換樹脂の選択性
　2.3 キレート樹脂による金属吸着
　2.4 評価事例
３．半導体製造プロセスにおける超純水製造
　3.1 半導体製造プロセスにおけるイオン交換樹脂の必要性
　3.2 高純度イオン交換樹脂
　3.3 評価事例

【15:30-17:00】
４．半導体製造ラインにおける薬液中の金属不純物分析
(株)イアス　川端克彦氏

【講座の趣旨】
半導体製造では、酸・アルカリ・有機系の薬液が用いられる。これら薬液中の金属不純物分析は、ICP-MSが用いられる。本講座では、ICP―MSを用いて各種薬液中の極微量金属不純物を分析する際のこつおよび注意点について説明する。

１．半導体製造で使用される薬液の種類および金属不純物の形態
２．ICP-MSの原理
　2.1 分子イオン、同重体イオン干渉の除去技術
　2.2 ICP-MSの試料導入系の選択
　2.3 各薬液分析に必要なチューニング条件
　2.4 イオン性および粒子状不純物分析の違い
３．極微量分析試料の調製時の注意点
　3.1 ハンドリングによる汚染の避け方
　3.2 容器・器具からの汚染の低減方法
　3.3 検量線用標準溶液の液性による影響
４．分析の全自動化による汚染の低減
　4.1 オンライン自動標準液添加装置
　4.2 自動希釈機能付きオートサンプラー
　4.3 オンライン薬液中金属不純物分析システム
５．各種薬液の分析例

特典

セミナー資料付
各講で最後に質疑応答時間あり。

セミナー参加費
支払い方法

1. 銀行振込または現金書留にてお願いいたします。

2. 原則として開催日までにお願い致します。

3. 銀行振込の場合は、原則として領収証の発行は致しません。

4. 振り込み手数料はご負担ください。

お知らせ

●各種割引について
1. 同一テーマ1社2名以上同時申込の場合のみ、1名につき5,500円（税込）割引いたします。
2. 大学（教員、学生）、公的機関、医療機関の方は、「アカデミック価格」33,000円/1名（税込）でご参加いただけます。（2名同時申込割引は適用されません）

割引適用の場合は、お申し込み後、技術情報協会より確認のご連絡を差し上げます。

※定員になり次第、お申込みは締切となります。
※申し込み人数が開催人数に満たない場合など，状況により中止させて頂く事が御座います。

●Live配信セミナーの受講について
・セミナー配布資料は印刷物を郵送いたします。
・本講座で使用される資料や配信動画は著作物であり、録音・録画・複写・転載・配布・上映・販売等を禁止いたします。
・本講座はお申し込みいただいた方のみ受講いただけます。複数端末から同時に視聴することや複数人での視聴は禁止いたします。