薄膜作成の基礎とトラブル対策【Live配信セミナー】

株式会社　技術情報協会佐藤英樹氏 55,000円

★ 高品質膜に向けた成膜技術を徹底解説！トラブル対応に向けた評価、観察技術を詳解！

このセミナーを受講すると、こんなスキルが身につきます

成膜プロセス設計に求められる基礎知識，成膜プロセスにおけるトラブル解決に求められる基礎知識

セミナーの対象者はこんな方です

・成膜に関連する研究・開発・製造業務に新規に従事する方，従事して2～3年程度の方
・成膜に関してある程度の実務経験はあるが、自分の知識を系統的に整理したい方

会場

講師

プログラム

特典

お知らせ

開催日時

2025/03/11 (火) 10:30～ 16:30 （受付 10:00 ～ )

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申込み期間

2024/12/26 ～ 2025/03/06

主催会社

株式会社　技術情報協会

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定員

30名

受講料

55,000円 (税込／各種割引については下段「お知らせ」欄をご参照ください）

開講場所

ZOOMを利用したLive配信
※会場での講義は行いません　

講師

佐藤英樹氏: 三重大学　大学院工学研究科　電気電子工学専攻　教授　博士（工学）

カリキュラム、
プログラム

【講座概要】
　薄膜技術は，先端材料研究をはじめ，電子デバイス，太陽電池，建材，食品産業と，さまざまな産業分野を支える基幹技術です。現在では多機能で高性能な成膜装置が市販されており，かつてと比べて容易に薄膜形成が行えるようになりました。しかしながら，適切な薄膜形成のためには，薄膜技術に関する知識が必要なのは今も昔も変わりません。新規の条件で成膜を行う場合，所望の薄膜を得るためには各種成膜条件が膜質におよぼす影響を考慮しつつ，条件を選択する必要があります。そのようなときに必要になるのが，成膜技術に関する基本的かつ系統的な知識です。
本講座では，成膜技術に携わる方々を対象に，これらの技術に関する基礎的かつ系統的な知識を習得し，実際の業務に生かして頂くことを目標とします。

【受講対象】
・成膜に関連する研究・開発・製造業務に新規に従事する方，従事して2～3年程度の方
・成膜に関してある程度の実務経験はあるが、自分の知識を系統的に整理したい方

【受講後、習得できること】
成膜プロセス設計に求められる基礎知識，成膜プロセスにおけるトラブル解決に求められる基礎知識

【プログラム】
1.成膜技術ための基礎知識
　1.1 真空工学
　1.2 表面物性工学
　1.3 プラズマ工学

2.物理気相成長（PVD）法
　2.1 真空蒸着法
　　2.1.1 原理
　　2.1.2 真空蒸着法の種類
　　2.1.3 真空蒸着法の留意事項
　2.2 スパッタ法
　　2.2.1 原理　
　　2.2.2 スパッタ法の種類
　　2.2.3 スパッタ法で作製される薄膜の特長
　　2.2.4 スパッタ法の留意事項

3.化学気相成長（CVD）法
　3.1 原理
　3.2 化学気相成長法の種類
　3.3 化学気相成長法による成膜例
　3.4 化学気相成長法の留意事項

4.薄膜評価法
　4.1 形態観察
　4.2 膜組成、膜構造分析
　4.3 付着力、膜応力測定
　4.4 電気的特性、光学的特性測定

5.成膜プロセスで遭遇するさまざまなトラブルと対策

【質疑応答】

特典

セミナー資料付、質疑応答時間あり。

セミナー参加費
支払い方法

1. 銀行振込または現金書留にてお願いいたします。

2. 原則として開催日までにお願い致します。

3. 銀行振込の場合は、原則として領収証の発行は致しません。

4. 振り込み手数料はご負担ください。

お知らせ

●各種割引について
1. 同一テーマ1社2名以上同時申込の場合のみ、1名につき5,500円（税込）割引いたします。
2. 大学（教員、学生）、公的機関、医療機関の方は、アカデミック価格33,000円/1名（税込）でご参加できます。（2名同時申込割引は適用されません）
割引適用の場合は、お申し込み後、弊社より確認のご連絡を差し上げます。

●Live配信セミナーの受講について
・ Zoom公式サイトで視聴環境を確認の上、お申し込みください。
・開催日前に、視聴用URLとパスワードをメールにてご連絡申し上げます。
・セミナー配布資料は郵送いたします。お申込みが直前の場合、資料の到着が間に合わないことがあります。
・本講座で使用される資料や配信動画は著作物であり、録音・録画・複写・転載・配布・上映・販売等を禁止いたします。
・本講座はお申し込みいただいた方のみ受講いただけます。複数端末から同時に視聴することや複数人での視聴は禁止いたします。
・ Zoomのグループにパスワードを設定しています。部外者の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。