ポジ型およびネガ型レジスト材料の合成と評価方法および分子設計方法

株式会社　技術情報協会工藤宏人氏 55,000円

★レーザー，ランプ・・・どの波長の光や，どの周波数帯の電子線が溶解性に最適なのか？
★新しい材料開発の動き，フォトレジスト評価の測定機器の使い方，経済安全保障との関連性

このセミナーを受講すると、こんなスキルが身につきます

・レジスト材料の基礎
・レジスト材料の開発方法
・レジスト材料の評価方法

セミナーの対象者はこんな方です

・フォトレジストに関連する技術者，開発者，研究者
・フォトレジストで課題を抱えている方
・これからフォトレジストに携わる方

会場

講師

プログラム

特典

お知らせ

開催日時

2025/01/31 (金) 10:30～ 16:30 （受付 10:00 ～ )

他の開催日・開催場所（同じ都道府県内）で探す

申込み期間

～ 2025/01/30

主催会社

株式会社　技術情報協会

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定員

定員数の上限はございません

受講料

55,000円 (税込／各種割引については下段「お知らせ」欄をご参照ください）

開講場所

Zoomを利用したLive配信
※会場での講義は行いません。　

講師

工藤宏人氏（クドウヒロト）: 【公職】
・フォトﾎﾟﾘﾏｰ学会理事
・【元】 (一社)ラドテック研究会理事

【受賞歴】
・2007年高分子学会「日立化成賞」
【環状オリゴマーを基盤とした光機能性材料 (レジスト，屈折率変換材料) の開発】

カリキュラム、
プログラム

【講座の趣旨】
　　フォトレジスト材料は，化学増幅型システムを基盤として，露光システムの変遷と共に進化をしてきた。その進化の変遷について，高分子や低分子を用いたレジスト材料の開発について解説する。さらに，KrF，ArF，EB，およびEUVレジスト材料の合成例と分子設計指針について基礎から応用までを解説する。　また，レジスト材料の基礎的な評価方法を解説し，新規なレジスト材料の開発方法について解説しながら，最新のレジスト材料としてEUVレジスト材料の開発方法について解説する。

【セミナープログラム】
１．レジスト材料
　　1.1 原理
　　1.2 合成例
　　1.3 最新の化学増幅型

２．ポジ型レジスト材料
　　2.1 材料的な特性
　　2.2 主な応用・用途

３．ネガ型レジスト材料
　　3.1 材料的な特性
　　3.2 主な応用・用途

４．高分子レジスト材料と低分子レジスト
　　4.1 材料的な特性
　　4.2 主な応用・用途

５．レジスト材料の評価方法と開発方法の実例
　　5.1 レジスト材料の評価項目，評価手法について
　　5.2 レジスト材料の評価方法と開発例

６．最新型レジスト材料
　　6.1 メタルレジスト
　　6.2 EB,EUV用レジスト材料

７．良く出る質問，ケーススタディ，Ｑ＆Ａ
　　【例1】レジスト組成物としての添加剤の使用目的とは？
　　【例2】レジスト材料の機械的特性の評価法とは？
　　【例3】アウトガスの発生原因とその測定方法とは？
　　【例4】光源の照射量・時間・強さの調整法とは？
　　【例5】カリックスアレーンのレジスト材料への可能性は？
　　【例6】レジスト材料の耐久性，寿命予測法とは？
　　【例7】レジスト材料に求められる改善点，課題とは？
　　【例8】レジスト材料の保存管理のポイントは？
　　【例9】レジスト材料の安全性や規格規制の動きは？
　　【例10】レジスト材料の海外での研究実例は？

【質疑応答】

※受講者の皆様の抱える疑問点や問題点について，セミナー開催3日前までに
「事前リクエスト用紙」（請求書に同封）や「Eメール」を御寄せ頂けましたら，
講演中に対応させて頂きます。　

特典

セミナー資料付
各講で最後に質疑応答時間あり。

セミナー参加費
支払い方法

1. 銀行振込または現金書留にてお願いいたします。

2. 原則として開催日までにお願い致します。

3. 銀行振込の場合は、原則として領収証の発行は致しません。

4. 振り込み手数料はご負担ください。

お知らせ

●各種割引について
1. 同一テーマ1社2名以上同時申込の場合のみ、1名につき5,500円（税込）割引いたします。
2. 大学（教員、学生）、公的機関、医療機関の方は、「アカデミック価格」33,000円/1名（税込）でご参加いただけます。（2名同時申込割引は適用されません）

※申し込み人数が開催人数に満たない場合など，状況により中止させて頂く事が御座います。

●Live配信セミナーの受講について
・ Zoom公式サイトで視聴環境を確認の上、お申し込みください。
・開催日が近くなりましたら、視聴用のURLとパスワードをメールにてご連絡申し上げます。
・セミナー配布資料は印刷物を郵送いたします。
・本講座で使用される資料や配信動画は著作物であり、録音・録画・複写・転載・配布・上映・販売等を禁止いたします。
・本講座はお申し込みいただいた方のみ受講いただけます。複数端末から同時に視聴することや複数人での視聴は禁止いたします。
・ Zoomのグループにパスワードを設定しています。部外者の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。