生体温度域でのスパッタリング成膜技術の基礎と応用【LIVE配信】

株式会社R&D支援センター本村大成氏 49,500円

スパッタリング成膜技術は、金属膜や機能性膜を様々な基材表面に形成できる、半導体プロセスをはじめとした様々な分野で用いられている技術です。

これまでは温度ダメージやプラズマダメージなどにより「生物体表」にスパッタ成膜を行うことは困難とされてきましたが、今回のセミナーでは生物体表にスパッタリング成膜を可能にした新開発のカソードについて重点的に紹介します。

スパッタリング成膜技術の特に生体温度域でのプラズマスパッタリング成膜技術に必要な事項について基本から応用まで解説し、実現にあたって重要になる技術イメージを共有します。また本成膜技術で実現できる応用例について初学者にもわかりやすく解説します。

このセミナーを受講すると、こんなスキルが身につきます

習得できる知識

生体温度域でのスパッタリング成膜に対する基礎知識
スパッタリングカソードの磁場の振る舞いに対する知見
スパッタリングカソードの磁気回路の設計指針
生体温度域での成膜応用についての将来技術

セミナーの対象者はこんな方です

スパッタリング成膜を始めたばかりの方から、ある程度の研究経験を経た方
マグネトロンスパッタリングカソードの特に磁場配位についての知見を得たいと考えている方
低温成膜に取り組んでいるが、基材のダメージについて課題があり困っている方
その他　本テーマに興味のある方なら、どなたでも受講可能

必要な予備知識

プラズマ理工学や電磁気学の基礎知識があると望ましいが、
この分野に興味のある方なら、特に予備知識は必要ありません

会場

講師

プログラム

特典

お知らせ

開催日時

2024/11/29 (金) 12:30～ 16:30

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申込み期間

～ 2024/11/28

主催会社

株式会社R&D支援センター

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定員

30名

受講料

49,500円

開講場所

本セミナーはZOOMを使ったLIVE配信セミナーです
【WEB限定セミナー】 ※会社やご自宅でご受講下さい。　
ご自宅や職場のノートPCで受講できます。

講師

本村大成氏: （国研）産業技術総合研究所
センシングシステム研究センター

2012年3月　九州大学大学院総合理工学府先端エネルギー理工学専攻博士（工学）
2012年3月まで　独立行政法人日本学術振興会特別研究員 DC2
2012年4月　独立行政法人産業技術総合研究所研究員
2016年10月から現在まで　国立研究開発法人産業技術総合研究所主任研究員

2013年4月-2015年3月　応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会, 庶務幹事
2020年7月-2022年6月　一般社団法人プラズマ・核融合学会, 学会誌編集委員
2022年4月-2025年3月　公益社団法人日本表面真空学会スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会（SP部会）, 幹事

カリキュラム、
プログラム

1．スパッタリング成膜とは？
　1-1.様々な成膜技術
　1-2.抗加熱蒸着法との違い
　1-3.プラズマを成膜に用いることの利点
　1-4.基材温度を上昇させるものは何か？

2．マグネトロンスパッタリングカソードの磁場配位の基礎
　2-1.磁場中の荷電粒子の運動
　　(1）一様磁場
　　(2）非一様磁場
　　(3）磁気モーメントの保存
　2-2.スパッタリング放電に用いられる磁場配位
　　(1)先行技術の事例紹介（マグネトロンカソードを中心に）

3．生体温度域のスパッタリング成膜を可能にするために必要なこと
　3-1.低電力運転
　3-2.低ガス圧力運転
　3-3.高ターゲット使用率
　3-4.生体温度域でのスパッタリング成膜の実現
　3-5.生体温度域スパッタ成膜例
　　(1）細胞サイズのタンパク質表面への金属成膜
　　(2）植物体表への金属成膜
　　(3）その他応用事例（窒化アルミニウムの成膜事例など）

4．生体温度域でのスパッタリング成膜技術がもたらす未来

【Zoomを使ったWEB配信セミナー受講の手順】

１．Zoomを使用されたことがない方は、ミーティング用Zoomクライアントをダウンロードして下さい。ダウンロードできない方はブラウザ版でも受講可能です。

２．セミナー前日までに必ず動作確認をお願いします。セミナー開始直前のトラブルについては対応いたしかねますのでご了承下さい。

３．開催日の数日前にWEBセミナーへの招待メールをお送りいたします。当日のセミナー開始10分前までに招待メールに記載されている視聴用URLよりWEB配信セミナーにご参加下さい。

セミナー参加費
支払い方法

銀行振込か会場にて現金でお支払いください。

銀行振込みの場合、原則的に領収書は発行いたしません。

領収書をご希望の場合は、当日会場で受講料をお支払いください。

クレジットカードはご利用いただけません。

お知らせ

・資料付

・セミナー資料は開催前日までにお送りいたします。

・2名同時申込で両名とも会員登録をしていただいた場合、計49,500円（2人目無料）です。

・キャンセルについて
原則としてキャンセルはお受けいたしかねます。
ご都合により出席できなくなった場合は代理の方がご出席ください。

代理の方が見つけられない場合、セミナー開催日より、
営業日で8日前までに限りキャンセルを承ります。
8日を過ぎますと欠席扱いとし、受講料の全額をお支払いいただきます。
ご欠席の場合は後日、セミナーで使用したテキストをお送りいたします。