等方性ドライエッチングメカニズムと最先端技術【LIVE配信】

株式会社R&D支援センター大竹浩人氏 49,500円

等方性エッチング技術のニーズと基礎メカニズムの説明から、
現在IntelやTSMC, Samsung, SK Hynixなど最新半導体デバイスを製造しているメーカが検討している
先端エッチング技術まで解説！

台湾TSMCの熊本工場、北海道のラピダスの設立など半導体製造メーカの新聞報道などが続いています。半導体デバイスの加工にはエッチング技術が欠かせませんが、昨今のデバイスの3次元化に伴い、従来の異方性加工（垂直方向）のニーズだけでなく、等方性加工（横方向）に注目が集まっています。

本セミナーでは等方性エッチング技術のニーズと基礎メカニズムの説明からスタートし、現在IntelやTSMC, Samsung, SK Hynixなど最新半導体デバイスを製造しているメーカが検討している先端エッチング技術までを紹介します。等方性エッチング技術にも多くの課題があり、そのブレークスルー技術についてもご紹介いたします。

このセミナーを受講すると、こんなスキルが身につきます

習得できる知識

・半導体製造における等方性エッチングの位置づけと原理が理解できる。
・等方性エッチングにおける課題、課題解決へのアプローチを理解できる。
・最新デバイスにおける等方性エッチング技術を理解できる。

セミナーの対象者はこんな方です

・半導体デバイス開発、半導体製造装置開発に携わって5年以内程度の技術者の方
・半導体デバイス・半導体製造装置の営業職の方
・半導体製造装置の製造技術、量産技術の技術者の方

必要な予備知識

特に予備知識は必要ありません。基礎から解説いたします。

会場

講師

プログラム

特典

お知らせ

開催日時

2024/10/09 (水) 13:00～ 16:00

他の開催日・開催場所（同じ都道府県内）で探す

申込み期間

～ 2024/10/08

主催会社

株式会社R&D支援センター

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定員

30名

受講料

49,500円

開講場所

本セミナーはZOOMを使ったLIVE配信セミナーです
【WEB限定セミナー】 ※会社やご自宅でご受講下さい。　
ご自宅や職場のノートPCで受講できます。

講師

大竹浩人氏: （株）日立ハイテク
プロセス企画部　部長

博士（工学）東北大学
IEEE Senior member
米国滞在総計 6年間
・プラズマエッチング基礎研究・配線インテグレーション研究
・准教授（プラズマプロセスin-situモニタリング研究）
・表面波プラズマを使ったエッチング技術の開発、ロジックデバイス大手へのエッチングプロセス提供、量産課題解決
・新規等方性エッチング装置の開発、メモリ・ロジックデバイス大手への等方性エッチングプロセス提供

カリキュラム、
プログラム

1.ドライエッチングの基礎
　1-1 ドライエッチングとは？
　1-2 異方性エッチングと等方性エッチング

2.等方性エッチングのニーズとメカニズム
　2-1 等方性エッチングのニーズ
　2-2 等方性エッチングのメカニズム

3.等方性エッチングの例
　3-1 ウエットエッチング
　3-2 ガスエッチング
　3-3 原子層エッチング(Atomic Layer Etching: ALE)
　3-4 等方性エッチング装置

4.等方性エッチングの課題

5.最新等方性エッチング技術
　5-1 ロジックデバイス向け等方性エッチング技術
　5-2 メモリデバイス向け等方性エッチング技術

【Zoomを使ったWEB配信セミナー受講の手順】

１．Zoomを使用されたことがない方は、ミーティング用Zoomクライアントをダウンロードして下さい。ダウンロードできない方はブラウザ版でも受講可能です。

２．セミナー前日までに必ず動作確認をお願いします。セミナー開始直前のトラブルについては対応いたしかねますのでご了承下さい。

３．開催日の数日前にWEBセミナーへの招待メールをお送りいたします。当日のセミナー開始10分前までに招待メールに記載されている視聴用URLよりWEB配信セミナーにご参加下さい。

セミナー参加費
支払い方法

銀行振込か会場にて現金でお支払いください。

銀行振込みの場合、原則的に領収書は発行いたしません。

領収書をご希望の場合は、当日会場で受講料をお支払いください。

クレジットカードはご利用いただけません。

お知らせ

・資料付

・セミナー資料は開催前日までにお送りいたします。

・2名同時申込で両名とも会員登録をしていただいた場合、計49,500円（2人目無料）です。

・キャンセルについて
原則としてキャンセルはお受けいたしかねます。
ご都合により出席できなくなった場合は代理の方がご出席ください。

代理の方が見つけられない場合、セミナー開催日より、
営業日で8日前までに限りキャンセルを承ります。
8日を過ぎますと欠席扱いとし、受講料の全額をお支払いいただきます。
ご欠席の場合は後日、セミナーで使用したテキストをお送りいたします。